第一百三十三章:晶圆厂参观

“好。下面我们要说的便是圆片检测和处理系统。Intel的圆片检测系统的合作商是里面涉及到一些商业秘密我也不好多做透露。不过我还是可以告诉你选这个系统有个要注意的地方便是能不能对圆片光学全顶、边缘、倾角和背端缺陷进行检测。”

        “虞博士。其实我们还需要这些系统的配套措施。如上料模组、圆片搬送机械手、前端模组、综合气体系统、真空平台和设备控制软件。我知道这些东西也不是Intel自己生产的。但是我希望到时候你和Intel能够介绍一些比较有能量的半导体设备生产商。我们需要采购这些用在处理和测量上的仪器。在设备自动化方面我们需要仰仗Intel。但是在工厂软件自动化方面我相信我们龙腾不逊于任何一家软件生产商。我想我们可以与Intel进行某些方面的合作。”说到自己公司的长处。张国栋也是双眼放光。

        “呵呵。这个我倒是听说了。听说你们龙腾科技目前是世界上排名前三的独立软件生产商。很不错啊。要知道能软能硬的公司可不多呢。”虞有程说到这里也是哈哈大笑。显然对于张国栋取得的成绩非常欣赏。

        “这样吧。你明天过来。我会请总裁葛洛夫先生一起过来的。到时候我会让一些技术人员过来做一些说明性讲解。既然你们要涉足晶圆的生产。那么我希望你们能取得成功。我会让这些技术员尽量说仔细一点的。到时候能记下多少就看你啦。”

        “那我就谢谢虞博士了。这里是我从祖国大陆带过来的一点茶叶。也没什么好礼物。就权当我这个做晚辈的一点谢意吧。”说着张国栋拿出了自己准备好的礼物。中国人之间对于这种小礼物的赠送都表示理解。毕竟这是中国地传统文化。虞有程非常高兴的收下了张国栋的茶叶。虽然以他的薪资没什么茶是他喝不起地。可是这茶喝的是一种心情。

        出了虞有程的别墅。张国栋一时之间有些茫然。不知道是不是应该去看望看望杨柳。可是上次杨柳那个样子。张国栋依然记得当时她那表情。所以又吃不准会不会吃闭门羹。最后下定决心的张国栋还是决定不去了。还是去斯坦福大学和麻省理工学院去找找前世认识的那些教授。以前大家在一起都是称兄道弟的。现在张国栋比他们矮了一辈了。最重要的是他们可能根本就不待见张国栋啊。

        随机选择了一个教室。张国栋悄悄的走了进去。讲台上教授正在手舞足蹈的讲解着什么。下面的同学也听得非常认真。并时不时地有同学站起来发表自己的意见。这与后世中国的大学课堂截然不同。西方地大学上课一班是小班级讲课。除非是教授做报告。而中国地课堂常常是一百多人。前面老师在讲后面睡倒一片。特别是什么毛泽东思想概论。马克思主义哲学。邓小平理论与三个代表。法律基础等等这一系列的课程。逃课的就不用说了。去了地在听课地估计能有个百分之二三就非常不错。这也是开这一系列课程的老实地悲哀。自己的教学成果完全得不到理解。

        浮想联翩的张国栋可不知道自己已经被人注意到了。直到旁边一个黑人小伙推了推他。然后对他咧嘴一笑。露出洁白的牙齿。进而张国栋便听到教室中传来哄然大笑。直到几分钟后张国栋才知道原来是老师在问他对于美国出现的网络的看法。本来张国栋是不想开口的。不过看到老师那鼓励的眼神。还有同学在后面起哄的样子。张国栋也是决定说点火爆的。震惊他们一下。于是他站了起来。

        “我们都知道Intel已经发布了他们的386芯片。来自于中国的龙腾科技还有荷兰的Bell以及美国的戴尔还有康博都发布了基于Inel386芯片的386电脑。可以说微机正在渐渐的走入人们的生活。这一点是毫无疑问的。以前计算机是专业人士的工具。可是自从网络创世纪这款游戏发布以来我们发现原来计算机也可以用来娱乐。然后来自于古老东方的香港发售的几款PC游戏都让我们看到了电脑的魅力。特别是声卡运用在计算机上面后。从此我们的计算机脱离了单纯的机械音而进入到丰富的复合音时代。可以说一个多媒体时代即将到来。”

        “以前出现的计算机还只是一个个的个体。这限制了我们计算机的用途。可是随着美国的思科公司发明出了他们的路由器。以及由美国军方阿帕奇网络发展过来的民用网络出现后。我们可以说。一个信息高速公路的时代即将到来！网络拉近了我们彼此间的距离。可以让我们更好的实现资源的共享。我们可以假设这样的场景。我们在下载别人计算机上的资源时。如果别人也下载我们的。那么我们就是断到断的共享应用。如果我们只作为资料输出方的话那我们就是服务器客户端模式。网络毕竟成为未来的强大助力。特别是随着网络的出现。公司已经出现了无纸化办公的环境。人们的工作方式必将随着网络的到来而发生巨大的改变。如果我们抗拒它。我们必然被时代淘汰。如果我们接受它并主动驾驭它。那么我们就将赢得未来！”

        如果一开始有些人还抱着戏谑心理的话。那么十分钟后他们就结结实实的被张国栋给震倒了。教室里安静急了。然后就是一阵热烈的掌声传出。不断有人吹着口哨。年轻教授待掌声渐渐安静后继续问道。

        “那你能不能给我们说说基于网络有哪些应用呢？”说完带着期盼和鼓励的眼神望着张国栋。

        “我想我有必要自我介绍一下。我是来自中国的龙腾科技的老板张国栋。凡是用过ZIP格式的压缩软件的同学应该知道。这就是我们的代表性软件。”张国栋微笑着介绍自己道。他不介意在这个世界知名学府里面扩展自己公司地影响力。这也是一个为公司做宣传的好机会。

        “Oh你就是ACM编程竞赛中那个神奇的Chun吧。我记得你。”同学人群中一个声音传出。很显然这位小帅哥也是当初受过张国栋打压的家伙。要知道张国栋当年可是比第二名整整提高了一个小时啊。

        “呵呵。真是荣幸。想不到在这里竟然还会有人记得我。没错。我地确就是当年那个可恶的Chun。说起网络的应用我不得不提及一项我们龙腾科技正准备推广的一项资料空间。这个空间我们叫它WorldWidWeb。我们发明了一套协议。叫超文本传输协议。当然。目前协议还正在制定中。大家只需要知道。如果按照我们的这套协议来做的。可以做出同意的资源模式。这样我们大家制作资源的方式就大大增加了。那时你们会发现这个世界不是只有ftp这一种模式的。”

        “哦”教室里面又响起一阵惊叹。这个时候张国栋才发现不知道什么时候30几个人的小教室里面竟然挤进来了80几个人。这实在让张国栋有点汗颜。“那你们打算怎么收费呢？”一个性急地家伙问出了大家的心声。

        “技术是需要大家共享的。我们龙腾拥有早期地黑客文化精髓。所以我们准备将这套协议推广后免费向世界用户开放。可以让世界上所以喜欢计算机地朋友都制作出他们喜欢的网页。我们希望通过www这个空间为大家提供一个娱乐的地方。”张国栋这家伙肚子里面简直笑翻了。要知道原本万维网可是号称师姐理工大学之最称号地麻省理工学院MIT计算机科学实验室成立地。而且被建立起来后一开始就是免费策略。不过也幸亏是免费。不然谁也不能保证万维网是否会成为标准。现在张国栋兜售这个免费的概念。显然是得了便宜还卖乖。“你们实在是太伟大了。要知道我们用你们地电子邮箱就已经方便了我们的生活了。真希望大学毕业后能进入到你们这样的公司。”老天。说实话。这可不是张国栋找的托儿啊。何况这个托儿还是一个身材火辣的美国小妞。

        “呵呵。我也希望你能加入我们的团队。要知道这可以吸引很多优秀的男士加盟。”常年在美国生活的张国栋显然非常熟悉美国人的性格。所以开了个不大不小的玩笑。然后又继续说道。“每一个人的电脑存储空间毕竟有限。所以网络给我们最大的好处便是交流和共享。我想任何有志于在这方面做出一点成绩的人都能取得成功。我们到时候也会开通一个这方面的创业基金。希望有志于从事网络创业的方面能够踊跃申请。只要你有好的ida。只要你有良好的合作团队。只要你能做出一份完整的策划。你都有可能赢得我们的创业基金的支持哦。”其实后面这段张国栋基本上没讲什么应用。完全是空话和套话。要知道这可是后世中国发表论文的绝对招数。不像老外。论文里面通常都有大量的实验数据的论证。现在的美国佬当然不知道张国栋耍了个花枪。他们还沉浸在张国栋画的画饼中呢。

        第二天张国栋如愿的带着自己的技术团队奔赴Intel进行合作洽谈和学习。虞有程果然比较有面子。来负责为张国栋他们讲解的是Intel的资深工程师。对整个Intel的晶圆生产流程都有着严格的了解以及自己独到的见解。

        “各位。请穿上面前的无尘衣。我们马上进入我们的洁净室。我听总裁先生说了。贵公司也建立了洁净室。不过和我们的洁净室要求不一样。一般的机械加工是不需要洁净室的。因为加工分辨率在数十微米以上。远比日常环境的微尘颗粒为大。但进入半导体组件或微细加工的世界。空间单位都是以微米计算。因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上。便有可能影响到其上精密导线布局的样式。造成电性短路或断路地严重后果。所以我们建立了这个洁净室。更是为洁净程度建立了一系列的标准。你们面前的这个洁净室其费用就高达数亿美元。”可能这厮是典型的白人思维。骨子里应该是看不起黄种人地。当说到数亿美元的时候眼中带着些许的嘲笑和挑衅。张国栋当然知道他们是什么意思。可惜其它的技术员都沉醉于这个超现代化的洁净室里面。那是一种你不身临其境绝对不会感受到的震撼。尽管龙腾也有自己的洁净室。但是就像这家伙说的这样。不是一个等级的。更何况平常也只有一些需要做布局的技术员才会去用洁净室。主要是由于进入洁净室太麻烦。到现在他们才知道。原来细节决定了一切。

        “我们Intel有规定。所有地半导体制程设备。都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中。这就是洁净室的来由。洁净室地洁净等级。有一个公认地标准。以class10为例。意谓在单位立方英的洁净室空间内。平均只有粒径0。5微米以上的粉尘10粒。而我们Intel要求地是1-2粒。”说完带着一种自豪地眼光望着眼前那充满了科幻气息一种朦胧美的厂房。地确。他们有骄傲的理由。要知道class后头数字越小。洁净度越佳。其造价也越昂贵。龙腾科技的洁净室是要求最低级别的。

        这个时候张国栋注意到墙上有一个霓虹灯打出来的相关技术与使用管理办法。

        “1、内部要保持大于一大气压的环境。以确保粉尘只出不进。（所以需要大型鼓风机。将经滤网的空气源源不绝地打入洁净室中）

        2、保持温度与湿度的恒定（为了保持这个恒定。大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。换言之。鼓风机加压多久。冷气空调也开多久。这也就是一个同步的问题）

        3、所有气流方向均由上往下为主（这一点相当的严格。必须尽量减少突兀之室内空间设计或机台摆放调配。使粉尘在洁净室内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。）

        4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。（这在87年的中国有点难度。不过军事上应该有相关的建材。张国栋应该能搞定）

        5、所有人事物进出。都必须经过空气吹浴(airshwer)的程序。将表面粉尘先行去除。（这也是龙腾科技的标准程序）

        6、进出使用人员必须穿戴无尘衣。除了眼睛部位外。均需与外界隔绝接触（人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源。为此务必严格要求穿戴无尘衣。就像现在他们进来。而在次微米制程技术的工厂内。工作人员几乎穿戴得像航天员一样。当然。化妆是在禁绝之内。铅笔等也禁止使用。）

        7、使用水只能限用去离子水(DIwater,d-ionzedwater)。

        这是除了空气以外的又一则严格要求！一来防止水中粉粒污染晶圆。二来防止水中重金属离子。如钾、钠离子污染金氧半(MOS)晶体管结构之带电载子信道(carrierchannl)。影响半导体组件的工作特性。去离子水以电阻率resistivty来定义好坏。一般要求至17。5M-cm以上才算合格；为此需动用多重离子交换树脂、RO逆渗透、与UV紫外线杀菌等重重关卡。才能放行使用。由于去离子水是最佳的溶剂与清洁剂。其在半导体工业之使用量极为惊人！所以张国栋又多了一项扶植下游产业的机会！）

        8、洁净室所有用得到的气源。包括吹干晶圆及机台空压所需要的。都得使用氮气(98%)。吹干晶圆的氮气要求99。8%以上的高纯氮！”

        看着上面的规定。张国栋长长的舒了一口气。这样的规定。这样的细节。张国栋知道其实还有诸如污水处理。废气排放等环保问题。这也需要大规模的投入。后世的意法半导体就是以环境保护措施施行严格闻名的。

        很显然。从初步震撼中回神的技术员们也看到了墙上的规定。也许别的他们不知道。可是那个限用重离子水和99。8%的纯氮就让他们吃惊得舌头都要吐出来了。那位小白同志显然对自己造成的震撼也比较满意。不过当他看到张国栋那若无其事的样子后心中又微微的不服气起来。尽管他听总裁说眼前这家伙也算是一个大老板了。

        好在龙腾科技已经有了初步的洁净室了。虽然可能没有办法提升到Intel这种比较变态的class1级。但是从class10到class5应该还是不难的。只要再增添一些设备。然后在某些设计方面做些必要的改进。对管理进行得更加严格一些应该就没问题了。张国栋是暗暗下定决心。回到深圳后一定要将洁净室的等级给提上去。细节决定成败。既然目前龙腾科技没办法弄到1。5微米的生产线。那么就在细节上下功夫！

        随着小白同志的带领。张国栋他们进入到硅晶圆的制作室。硅晶圆是一切集成电路芯片的制作母材料。

        “我们Intel采用的是柴可拉斯基拉晶法（CZ法）。你们看。现在机器正在进行拉晶。首先要将特定晶向的晶种浸入过饱和的纯硅熔汤中。然后同时旋转拉出。硅原子便会依照晶种的晶向。乖乖的一层层往上涨。你们看。那儿。就是得到的晶棒。当然我们Intel是不会使用这种原始的晶棒的。我们一般会采用FZ法将之再结晶。将杂质逐出。提高纯度与阻值。”

        “各位。看看这里吧。这是对晶棒进行机械加工修边。毕竟刚刚拉出的晶棒外径可不会一致。修完边后我们便用X光绕射法定住主切面的所在。磨出该平面。再以内刃环锯。削下一片片的硅晶圆。最后经过粗磨(lappin)、化学蚀平(hemicaletchn)与光(polishn)等程序。得出具表面粗糙度在0。3微米以下光面之晶圆(至于晶圆厚度。与其外径有关)。”

        “各位。我给你们讲解得这样细致就是知道。即使给你们我们Intel一模一样的设备你们也不可能复制我们Intel的奇迹。要知道我们做到今天这一步可是经过了快20年的积累。有的时候经验这个东西不是你想学就能学会的。你们看。如此现代化的设备多么令人迷醉。那么是拥有那么迷人的艺术气息。各位。难道你们不感叹么？”看得出。该小白是个设备狂。不过张国栋对于他说得也微微赞同。确实。即使将Intel的设备原样不动的搬到中国也同样生产不出达标的晶圆。说到底还是人的因素。经验这东西是需要摸索和沉淀的。看看后世大众和上汽的合作。一模一样的零件就是生产不出让人满意的质量的汽车就可以知道。其实无论现代化进程有多高。人才是决定一切的因素。

        “接下来。我会给你介绍一些设备。希望能让你们有所收获。”(未完待续。如欲知后事如何。请登陆www。qidiancom。章节更多。支持作者。支持正版阅读！)


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